# 國立臺灣大學 貴重儀器資訊平台

**Source**: https://ord.ntu.edu.tw/isc/list1-Tag1-9.asp
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### 校內共用貴重儀器 研發處歷年補助貴重儀器

- [所有儀器](https://ord.ntu.edu.tw/isc/list1-Tag0.asp "所有儀器")
- [理學院](https://ord.ntu.edu.tw/isc/list1-Tag1-2.asp "理學院")
- [醫學院](https://ord.ntu.edu.tw/isc/list1-Tag1-4.asp "醫學院")
- [工學院](https://ord.ntu.edu.tw/isc/list1-Tag1-5.asp "工學院")
- [生農學院](https://ord.ntu.edu.tw/isc/list1-Tag1-6.asp "生農學院")
- [公衛學院](https://ord.ntu.edu.tw/isc/list1-Tag1-8.asp "公衛學院")
- [電資學院](https://ord.ntu.edu.tw/isc/list1-Tag1-9.asp "電資學院")
- [生科院](https://ord.ntu.edu.tw/isc/list1-Tag1-11.asp "生科院")
- [依儀器屬性/類別分類](https://ord.ntu.edu.tw/isc/list1-Tag2.asp "依儀器屬性/類別分類")

[感應耦荷電漿活性反應式離子蝕刻機CE-300I（ 廠牌：ULVAC）

Dry Etching System ICPRIE

採購年度：95年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館331 室

儀器專家：楊志忠教授 02-3366-3643

儀器功能：利用電漿將反應氣體離子化，在乾燥環境下蝕刻金屬層，目的為製作出具良好方向性之奈米等級的孔洞及溝槽。](https://ntu331.blogspot.com/ "感應耦荷電漿活性反應式離子蝕刻機")

[電子束微影系統ELS-7000

Electron Beam Lithography System

採購年度：96年

管理單位：電資學院電子所

放置地點：電機二館-128

儀器專家：吳肇欣教授 02-3366-3694

儀器功能：電子束微影技術](https://my.ntu.edu.tw/vinstrument/instdetail.aspx?instrumentSeq=167&ename=Electron%20Beam%20Lithography%20System&cname=%E9%9B%BB%E5%AD%90%E6%9D%9F%E5%BE%AE%E5%BD%B1%E7%B3%BB%E7%B5%B1&model=ELS-7000&college=%E9%9B%BB%E6%A9%9F%E8%B3%87%E8%A8%8A%E5%AD%B8%E9% "電子束微影系統")

[聚焦離子束/電子束雙束系統FEI-NOVA 600i

採購年度：97年

管理單位：電資學院電子所

放置地點：電機二館-129

儀器專家：吳肇欣教授 02-3366-3694

儀器功能：電子束觀測與離子束切削](https://my.ntu.edu.tw/vinstrument/instdetail.aspx?instrumentSeq=165&ename=Foscused%20Ion%20Beam%20Dual%20Beam%20System&cname=%E8%81%9A%E7%84%A6%E9%9B%A2%E5%AD%97%E6%9D%9F/%E9%9B%BB%E5%AD%90%E6%9D%9F%E9%9B%99%E6%9D%9F%E7%B3%BB%E7%B5%B1&model=Nova600i%20Nan "聚焦離子束/電子束雙束系統")

[太陽能電池測試系統WXS-155SL2（廠牌：WACOM）

Super Solar Simulator

採購年度：98年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館325 室

儀器專家：楊志忠教授 02-3366-3643

儀器功能：此機台之光源採用一組氙氣燈泡及三組鹵素燈泡來模擬太陽光譜，相對於市面上其他較常見只採用單一氙氣燈泡者，此機台在長波長範圍之頻譜的模擬更為準確，因此此機台之spectral coincidence 可達到超高品質(+/-10%)，相對於一般Class A (+/-25%)標準高上許多。使用本系統可量測太陽能電池之IV特性曲線，進而換算其元件之光轉換效率。](https://ntu331.blogspot.com/ "太陽能電池測試系統")

分子束磊晶機SVTA III-V model #35

Molecular beam epitaxy (MBE)

採購年度：98年

管理單位：電資學院電子所

放置地點：電機系一館R107

儀器專家：林浩雄教授 02-3366-3670

儀器功能：提供校內外相關系所單位III-V磊晶結構樣品成長

無化學反應之氮化镓成長及量測系統－變塭載子濃度測量儀－霍爾量測Ecopia5300

No chemical reaction of the GaN growth and measurement system

採購年度：100年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館405 室

儀器專家：林清富教授 02-3366-3540

儀器功能：量測有機、無機半導體之載子濃度、載子遷移率、電阻率

無化學反應之氮化镓成長及量測系統-變塭載子濃度測量儀－脈衝雷射沉積系統Lambda Physik Compex201

採購年度：100年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館405 室

儀器專家：林清富教授 02-3366-3540

儀器功能：半導體製程設備、三五族化合物半導體磊晶、LED(Light Emitting Diode)發光二極體

[電漿反應離子蝕刻機RIE -10NR（ 廠牌：Samco）

Plasma Reactive Ion Etching System

採購年度：102年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館331 室

儀器專家：黃建璋教授 02-3366-3665

儀器功能：利用電漿反應氣體離子化，在乾燥環境下蝕刻氧化物，目的為製作出具良好方向性之奈米等級的孔洞及溝槽。](https://ntu331.blogspot.com/ "電漿反應離子蝕刻機")

[電漿輔助化學氣相沉積系統PD-220N（ 廠牌：Samco）

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition System

採購年度：104年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館331 室

儀器專家：楊志忠教授 02-3366-3643

儀器功能：用於食用之元件製程及用於材料加工後來探討基本物性、化性、材料及光電特性](https://ntu331.blogspot.com/ "電漿輔助化學氣相沉積系統")

[電子束蒸鍍機VTS-350M/ERH及VPC-260F（廠牌：ULVAC）

Electron Beam Evaporator System

採購年度：105年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館325 室

儀器專家：吳肇欣教授 02-3366-3694

儀器功能：用於食用之元件製程及用於材料加工後來探討基本物性、化性、材料及光電特性](https://ntu331.blogspot.com/ "電子束蒸鍍機")

[光罩對準機SUSS MA6Gen2

Mask Aligner MA6Gen2

採購年度：109年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館331室

儀器專家：陳奕君教授 02-3366-9648

儀器功能：各種元件圖案之對準曝光顯影](https://ntu331.blogspot.com/ "光罩對準機")

[尖端研究型貴重儀器(非例行性服務設備)

向量網路分析儀(VNA)

採購年度：113年

管理單位：電資學院電信所

放置地點：電機二館R505實驗室

儀器專家：吳宗霖教授 02-3366-3690

儀器功能：● 量測範圍涵蓋10MHz 至145GHz 的寬頻量測能力 ● 同時具備 4-port 量測能力 ● 搭配防震探針台操作 ● 具備待測物雙面量測](https://ord.ntu.edu.tw/isc/content9-12.asp "向量網路分析儀(VNA)")